SJ/T 31153-1994 超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法

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文件大小： 76.21 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 排气   完好   评定   检查   超高
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标准简介

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适用范围：本文件提供了超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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