SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 硅片   表征   间隙   沉淀   特性
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标准简介

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适用范围：本标准对通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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