SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 探针   测试   接触   电阻率   外延
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标准简介

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适用范围：本标准针对硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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