SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 234.07 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 对准   曝光   测试   方法   SJ
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标准简介

说明：本站提供 SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法 的PDF全文下载。

适用范围：本文件明确了掩模对准曝光机测试方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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