SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

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文件大小： 2.33 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 术语   集成电路   工艺设备   主要   SJ
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标准简介

说明：本站提供 SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对集成电路主要工艺设备术语提出了原材料与加工工艺的技术指标，提升产品制造产品质量。

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