SJ 20713-1998 砷化镓用高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 高纯   杂质   光谱分析   等离子体   SJ
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适用范围：本文件提供了砷化镓用高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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