SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 硅片   直径   含量   试验   方法
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标准简介

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适用范围：本文件提供了IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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