SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式 PECVD 设备

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语言版本：简体中文

标准类别：电子

关键词：晶体电池化学增强设备

标准简介

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适用范围：本文件提供了SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式 PECVD 设备的实施指南与技术支撑，适用于能源的行业规范化建设。