SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉

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文件大小： 1.78 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 悬浮   单晶硅   正压   SJ   11853
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标准简介

说明：本站提供 SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉 的PDF全文下载。

适用范围：本标准规定了正压悬浮区熔单晶硅炉的基本技术要求，适用于电子的工程实践与质量管理。

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