SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式 PECVD 设备

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语言版本：简体中文

标准类别：电子

关键词：板式晶体电池化学增强

标准简介

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适用范围：本文件规定了SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式 PECVD 设备的技术规范与管理要求，适用于能源的行业管理与质量评价。