SJ 21497-2018 声表面波器件光刻工艺技术要求

文件格式： PDF文档
文件大小： 5.56 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 器件   表面波   光刻   工艺技术   要求
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了声表面波器件光刻工艺技术要求的主要技术内容，是服务管理领域的重要参考文件。

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