SJ 21441-2018 SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

文件格式： PDF文档
文件大小： 9.59 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 高纯   晶片   绝缘   规范   碳化硅
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标准简介

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适用范围：本标准针对SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范提出了具体的技术指标与操作规程，为服务管理提供技术依据。

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