SJ 21260-2018 金属有机物化学气相淀积（MOCVD）设备工艺验证方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 7.61 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 有机物   验证   金属   化学   工艺
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标准简介

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适用范围：本文件规定了金属有机物化学气相淀积（MOCVD）设备工艺验证方法的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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