SJ 21168-2016 MEMS惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求

文件格式： PDF文档
文件大小： 8.47 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 器件   薄膜   惯性   金属   生长
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标准简介

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适用范围：本标准针对MEMS惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求提出了具体的技术指标与操作规程，为服务管理提供技术依据。

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