SJ 2594-1985 高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法

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文件大小： 1.27 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 高纯   杂质   金属   化学   光谱分析
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标准简介

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适用范围：本文件明确了高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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