SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

文件格式： PDF文档
文件大小： 11.39 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 半导体   规范   制造   设备   人机界面
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标准简介

说明：本站提供 SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范 的PDF全文下载。

适用范围：本标准对半导体制造设备人机界面规范的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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