SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

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文件大小： 4.03 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 间隙   测量   辐射   含量   吸收光谱
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标准简介

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适用范围：本文件明确了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的管理规定与实施要求，适用于电子的工程实践与质量管理。

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