SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.32 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 抛光   测试   表面   质量   碳化硅
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标准简介

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适用范围：本文件提供了碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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