SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

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文件大小： 8.05 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 抛光   规范   碳化硅   SJ   11502
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标准简介

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适用范围：本文件明确了碳化硅单晶抛光片规范的相关技术规定与实施要求，适用于服务管理的标准化管理。

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