SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

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文件大小： 5.22 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 杂质   测试   方法   SJ   11494
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标准简介

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适用范围：本文件提供了硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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