SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法

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文件大小： 3.7 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 离子   浓度   衬底   二次   测量方法
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标准简介

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适用范围：本文件规定了硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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