SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

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文件大小： 4.4 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 基线   间隙   测量   含量   吸收光谱
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标准简介

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适用范围：本标准针对短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量提出了具体的技术要求，为电子的技术监管提供重要参考。

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