SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范

文件格式： PDF文档
文件大小： 11.89 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 通用   化学   规范   设备   SJ
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标准简介

说明：本站提供 SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范 的PDF全文下载。

适用范围：本标准对化学气相淀积(CVD)设备通用规范的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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