SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 抛光   密度   低位   测量方法   SJ
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标准简介

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适用范围：本标准针对低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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