SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

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文件大小： 186.47 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 通用   规范   外延   系统   卧式
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标准简介

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适用范围：本文件规定了卧式液相外延系统通用规范的技术标准与服务规范，适用于服务管理的行业管理与质量评价。

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