SJ 20897-2003 聚对二甲苯气相沉积涂敷工艺规范

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文件大小: 310.61 KB
语言版本: 简体中文
标准类别: 电子
关键词: 沉积   工艺   规范   二甲苯   SJ

标准简介

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适用范围:本文件提供了聚对二甲苯气相沉积涂敷工艺规范的实施指南与技术支撑,适用于服务管理的行业规范化建设。

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