SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)

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文件大小： 87.78 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 电容   电压   测试   电阻率   外延
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标准简介

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适用范围：本文件提供了硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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