SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法

文件格式: PDF文档
文件大小: 162.65 KB
语言版本: 简体中文
标准类别: 电子
关键词: 晶格   失配   衬底   磷化   外延

标准简介

说明:本站提供 SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法 的PDF全文下载。

适用范围:本标准针对SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求,确保检测技术检测结果准确可靠。

相关推荐