SJ 2758-1987 同型外延层厚度的红外干涉测试方法

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文件大小： 288.16 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 厚度   测试   干涉   外延   红外
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标准简介

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适用范围：本文件明确了同型外延层厚度的红外干涉测试方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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