ZJM-001-419X-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材

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语言版本： 简体中文
标准类别： 其他标准
关键词： 高纯   集成电路   ZJM   001   419
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标准简介

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适用范围：本标准对ZJM-001-419X-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材的技术管理提出了具体要求，为其他标准的技术工作提供全面的规范依据。

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