QJ 20505-2016 全方位离子注入与沉积制备类金刚石碳膜技术条件

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语言版本：简体中文

标准类别：航天

关键词：金刚石制备沉积离子全方位

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标准简介

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适用范围：本文件提供了全方位离子注入与沉积制备类金刚石碳膜技术条件的实施指南与技术支撑，为航天的质量管理与技术监督提供保障。

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