P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延生长研究

文件格式： PDF文档

文件大小： 1.87 MB

资源类别：电力

关键词：掺杂阶梯薄膜多层生长

进入标准下载页面

本资源下载需 1 点

论文简介

P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延生长研究

相关推荐