陶瓷微板热隔离半导体气体传感器阵列设计与实现

文件格式： PDF文档
文件大小： 4.56 MB
资源类别： 机械
关键词： 传感器   半导体   陶瓷   气体   隔离
本地下载(1点)  备用下载(1点)

论文简介

陶瓷微板热隔离半导体气体传感器阵列设计与实现
相关推荐