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避免超硬nc-(Al1-xTix)N∕a-Si3N4纳米复合材料制成的(Al1-xTix)N涂层的高温分解

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避免超硬nc-(Al1-xTix)N∕a-Si3N4纳米复合材料制成的(Al1-xTix)N涂层的高温分解

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