基于泽尼克多项式系数的大相对孔径表面超精密车削误差的补偿方法

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资源类别： 机械
关键词： 精密   误差   系数   基于   补偿
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基于泽尼克多项式系数的大相对孔径表面超精密车削误差的补偿方法
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