微波化学气相沉积制备AlOx薄膜及钝化晶硅性能的研究

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资源类别： 机械
关键词： 钝化   制备   薄膜   微波   沉积
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论文简介

微波化学气相沉积制备AlOx薄膜及钝化晶硅性能的研究
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