双靶反应磁控共溅射制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能

文件格式： PDF文档
文件大小： 726.63 KB
资源类别： 机械
关键词： 掺杂   制备   薄膜   性能   及其
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

双靶反应磁控共溅射制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能
相关推荐