分流片对矩形平面磁控溅射阴极磁场的影响

文件格式: PDF文档
文件大小: 1.68 MB
资源类别: 建筑
关键词: 矩形   阴极   磁场   平面   分流
进入标准下载页面
本资源下载需 1

论文简介

分流片对矩形平面磁控溅射阴极磁场的影响
相关推荐