射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响

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资源类别： 综合论文
关键词： 射频   薄膜   功率   特性   热稳定性
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射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响
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