射频反应磁控溅射法退火生长Na-N共掺杂p-ZnO薄膜

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资源类别： 综合论文
关键词： 射频   掺杂   薄膜   生长   反应
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射频反应磁控溅射法退火生长Na-N共掺杂p-ZnO薄膜
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