Si衬底GaN基LED外延薄膜转移至金属基板的应力变化

文件格式： PDF文档
文件大小： 381.34 KB
资源类别： 综合论文
关键词： 应力   薄膜   金属   转移   衬底
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

Si衬底GaN基LED外延薄膜转移至金属基板的应力变化
相关推荐