H2流量对直流磁控溅射低温沉积ZnO∶Al薄膜结构与性能的影响

文件格式： PDF文档

文件大小： 1.21 MB

资源类别：能源

关键词：直流薄膜沉积低温流量

进入标准下载页面

本资源下载需 1 点

论文简介

H2流量对直流磁控溅射低温沉积ZnO∶Al薄膜结构与性能的影响

相关推荐