Al-O2反应溅射中总气流量与溅射功率对临界靶过渡模式影响

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文件大小： 2.01 MB
资源类别： 能源
关键词： 临界   功率   流量   过渡   模式
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Al-O2反应溅射中总气流量与溅射功率对临界靶过渡模式影响
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