Cu互连中Ta／Ta-N和Ti／Ta-N双层膜的扩散阻挡性能比较

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资源类别： 材料
关键词： 双层   阻挡   扩散   性能   互连
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Cu互连中Ta／Ta-N和Ti／Ta-N双层膜的扩散阻挡性能比较
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