Al2O3基陶瓷及玻璃基底制备Ta—N薄膜微结构与电学特性的比较研究

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资源类别： 材料
关键词： 基底   制备   薄膜   陶瓷   特性
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Al2O3基陶瓷及玻璃基底制备Ta—N薄膜微结构与电学特性的比较研究
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