B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响

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资源类别： 冶金
关键词： 复合   功率   摩擦   性能   微结构
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B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响
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