SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析

文件格式： PDF文档
文件大小： 636.33 KB
资源类别： 电子
关键词： 特种   加速度计   设计   分析   SOI
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析
相关推荐