硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 955.07 KB
资源类别： 电子
关键词： 灵敏度   掺杂   加速度计   影响   硅翘曲
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响
相关推荐