硅基铌掺杂Bi4Ti3O12薄膜溶胶-凝胶工艺的制备及铁电性改善研究

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资源类别： 电子
关键词： 掺杂   制备   薄膜   工艺   改善
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硅基铌掺杂Bi4Ti3O12薄膜溶胶-凝胶工艺的制备及铁电性改善研究
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