JJF(鄂) 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准规范(片上标准电阻法)

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语言版本: 简体中文
标准类别: 计量技术 JJF
关键词: 校准   电阻   特性   测试   规范

标准简介

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适用范围:本标准涵盖了JJF(鄂) 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准规范(片上标准电阻法)的主要计量特性与检验规则,为计量的法制计量提供支撑。

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